Çesitli Yarıiletken uygulamalarında (FOUPlar & podlar) kullanım için RFID sistemi
V640 SEMI
- İlgili SEMI standartlarına (SEMI E99, E4 ve E5) uygundur.
- Anten boyutlari SEMI E15.1'e uygundur
- Cam çok sayfalı transponderlerde yazma/okuma özelliği (TI)
- En iyi anten performansi için gürültü ölçüm fonksiyonu
- Çok sayıda kontrolörün aynı zamanda çalışması için Seri Ağ baglantısı (RS485)